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碳化硅AR光波导走向晶圆级制造与小规模量产
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AI 综述
碳化硅作为AR光学下一代材料正加入量产竞赛。据2026年10月20日报道，浙江省3D微纳加工与表征研究重点实验室、西湖大学光电研究院和慕德微纳团队近日发布预印本，展示了厚度0.35mm、重量1.98g的全彩碳化硅衍射光波导，并在8英寸SiC晶圆上实现4对镜片的图形化制造。高折射率有利于扩大视场角和实现单片全彩，但光学级基底一致性、硬脆材料的微纳加工及封装界面的光泄漏仍是制造难点。目前碳化硅AR光波导正走向晶圆级制造和小规模量产，距离低成本、大规模消费级出货仍有距离。
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最新进展10月20日 10:56
研究团队展示0.35mm厚全彩SiC衍射光波导，并在8英寸晶圆上实现4对镜片图形化制造。报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月20日
- OFweek光学网·资讯精选AR光学的下一代材料，碳化硅加入量产竞赛
碳化硅AR光波导正走向晶圆级制造和小规模量产，距离低成本、大规模消费级出货仍有距离。浙江省3D微纳加工与表征研究重点实验室、西湖大学光电研究院和慕德微纳团队近日的预印本展示了厚度0.35mm、重量1.98g的全彩碳化硅衍射光波导，并在8英寸SiC晶圆上实现4对镜片的图形化制造。高折射率有利于扩大视场角和实现单片全彩，但光学级基底一致性、硬脆材料的微纳加工及封装界面的光泄漏仍是制造难点。
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