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衍射光波导四条技术通路推动规模量产

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AI 综述

2026年10月19日,OFweek光学网刊文梳理SRG衍射光波导的四条互补技术通路:纳米压印改善量产、DUV光刻刻蚀提升精度、SiC基底扩大视场、单层全彩优化画质。文中列举具体进展:瑞声科技单层全彩SRG量产良率达80%以上,SiC方案实现52°FOV,歌尔光学12英寸DUV光刻刻蚀量产线投产。报道同时指出,百万片级产能规划与爬坡并不等于全行业已实现稳定的百万级规模化交付,成本、良率和整机适配仍是后续关卡。

AI 根据报道生成 · 3 小时前更新

报道时间线

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10月19日
  1. OFweek光学网·资讯精选
    衍射光波导的四条技术通路如何推动规模量产

    SRG衍射光波导通过纳米压印、DUV光刻刻蚀、SiC基底和单层全彩四条互补通路,分别改善量产、精度、视场和画质。文中列举瑞声科技单层全彩SRG量产良率80%以上、SiC方案52°FOV,以及歌尔光学12英寸DUV光刻刻蚀量产线投产。百万片级产能规划与爬坡并不等于全行业已实现稳定的百万级规模化交付,成本、良率和整机适配仍是后续关卡。

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