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上海光机所建立大口径球面剪切干涉模型

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AI 综述

上海光机所在大口径球面干涉波前测量方面取得进展,建立了球面波横向剪切干涉理论模型,并利用光子筛中心遮挡波带片匹配大口径光束与小靶面探测器。团队使用5英寸和9英寸波带片测量窗口玻璃:4英寸样品的透射波前PV为0.0738λ和0.0735λ,对照Zygo结果为0.073λ@632.8nm;8英寸样品的测量PV为0.2288λ,对照结果为0.222λ@632.8nm。成果发表于Optics and Laser Technology。

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10月23日
  1. 上海光机所·科研动态精选
    上海光机所在大口径球面干涉波前测量方面取得进展

    上海光机所建立球面波横向剪切干涉理论模型,利用光子筛中心遮挡波带片匹配大口径光束与小靶面探测器。团队使用5英寸和9英寸波带片测量窗口玻璃,4英寸样品的透射波前PV为0.0738λ和0.0735λ,对照Zygo结果为0.073λ@632.8nm。8英寸样品的测量PV为0.2288λ,对照结果为0.222λ@632.8nm,成果发表于Optics and Laser Technology。

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还没有足够的连续观测数据,暂不绘制趋势。